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Deposição e caracterizações física e morfológica de filmes de nitreto de titânio depositados por descarga a plasma em dupla gaiola catódica

Verbeno, Carlos Henrique Santos (2015)

RESUMO: Filmes de nitreto de titânio foram depositados sobre substrato de vidro utilizando a técnica de deposição por descarga a plasma em gaiola catódica. Com o propósito de aprimorar esse método, buscou-se investigar ...
Desenvolvimento da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica e caracterização de filmes finos de nitreto de titânio

Bottoni, Cintia de Laet Ravani (2014)

RESUMO: Filmes finos de nitreto de titânio foram depositados sobre vidro e substrato de silício com orientação cristalográfica (100), por meio da técnica de deposição de filmes finos por plasma com uso de gaiola catódica, ...
Desenvolvimento da técnica de descarga a plasma em gaiola catódica para produção de filmes de nitreto de titânio

Silva, Sandro Santos da (2014)

RESUMO: Neste trabalho fez-se uso da técnica de descarga a plasma em gaiola catódica para deposição de filmes de nitreto de titânio. Comparou-se o efeito gerado sobre as propriedades dos filmes depositados sobre substrato ...