dc.contributor.advisor | Gontijo, Leonardo Cabral | |
dc.contributor.author | Silva, Sandro Santos da | |
dc.date.accessioned | 2018-03-12T18:25:08Z | |
dc.date.available | 2018-03-12T18:25:08Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.identifier.citation | SILVA, Sandro Santos da. Desenvolvimento da técnica de descarga a plasma em gaiola catódica para produção de filmes de nitreto de titânio. 2014. 90 f. Dissertação (Mestrado em Engenharia Metalúrgica e de Materiais) - Instituto Federal do Espírito Santo, Vitória, 2014. | pt_BR |
dc.identifier.uri | https://repositorio.ifes.edu.br/xmlui/handle/123456789/313 | |
dc.description.abstract | RESUMO: Neste trabalho fez-se uso da técnica de descarga a plasma em gaiola catódica para
deposição de filmes de nitreto de titânio. Comparou-se o efeito gerado sobre as
propriedades dos filmes depositados sobre substrato de vidro utilizando-se de duas
gaiolas com tampas de espessuras diferentes. Para tanto, foram utilizadas pressões
de trabalho variando de 0,5 torr a 3,9 torr. Para caracterização dos filmes foram
feitos análises por difração de raios X, medidas de espessura por reflectometria,
ensaios de corrosão, espectroscopia de impedância eletroquímica, medidas das
propriedades elétricas, óticas e imagens das superfícies por microscopia eletrônica
de varredura e análise da composição por EDS. Foi possível obter filmes com cores
cinza, amarelo, laranja. As medidas de espessura mostraram que a taxa de
deposição aumentou aproximadamente três a quatro vezes quando se substituiu a
tampa de 1 mm de espessura pela tampa de 10 mm e a rugosidade dos filmes
também aumentou com uso de gaiola com tampa mais espessa. Todos os filmes
depositados obtidos apresentaram alta resistência à corrosão. O filme depositado
na atmosfera de 155 ccm de nitrogênio e 95 sccm de hidrogênio e pressão de
0,5 torr apresentou baixa transmitância na região do vermelho e infravermelho
próximo, tornando-o possível candidato para filtro de infravermelho. | pt_BR |
dc.description.abstract | ABSTRACT: This work was done using the technique of discharge the cathodic cage plasma
deposition of titanium nitride films. We compared the effect generated on the
properties of films deposited on glass substrate using two cages with caps of different
thicknesses. To this end, several partial pressures of nitrogen and hydrogen were
used. For characterization of the films analysis by X-ray diffraction, thickness
measurements by reflectometry, corrosion tests, electrochemical impedance
spectroscopy, electrical measurements, optical properties and images of the surfaces
by scanning composition analysis by EDS and electron microscopy were performed.
It was possible to obtain films with gray, yellow, orange. The thickness measurements
showed that the deposition rate increased approximately three to four times when
replacing the cap 1 mm thick by 10 mm. The surface roughness of the films also
increased with the use of thicker cage cover. All deposited films obtained showed
good chemical stability. One of the films showed low transmittance in the red area,
making it a possible candidate for the infrared filter and others showed high
transmittance. | |
dc.language.iso | por | pt_BR |
dc.rights | Acesso Aberto | |
dc.subject | Engenharia de materiais | pt_BR |
dc.subject | Filmes finos - Propriedades ópticas | pt_BR |
dc.subject | Filmes finos - Propriedades térmicas | pt_BR |
dc.subject | Titânio | pt_BR |
dc.title | Desenvolvimento da técnica de descarga a plasma em gaiola catódica para produção de filmes de nitreto de titânio | pt_BR |
dc.type | Dissertação de mestrado | pt_BR |
ifes.campus | Campus Vitória | |
ifes.underposgraduate | Programa de Pós-graduação em Engenharia Metalúrgica e de Materiais | |
dc.identifier.capes | 30004012001P0 | |
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